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旋转喷淋清洗是浸入型清洗的变型。系统中一般包括自动配液系统、清洗腔体、废液回收系统。
喷淋清洗在一个密封的工作腔内一次完成化学清洗、去离子水冲洗、旋转甩干等过程，减少了在每一步清洗过程中由于人为操作因素造成的影响。在喷淋清洗中由于旋转和喷淋的效果，使得硅片表面的溶液更加均匀，同时，接触到硅片表面的溶液永远是新鲜的，这样就可以做到通过工艺时间设置，控制硅片的清洗腐蚀效果，实现很好的一致性。密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发，减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂，在使用时到达喷口之前才混合，使其保持鲜，以发挥潜力，这样在清洗时会反应快。用N2喷时使液体通过很小的喷口，使其形成很细的雾状，至硅片表面达到更好的清洗目的。
在加工清洗的玻璃发生偏移，这样的情况就是压辊两头受力不够均匀了；解决的方式就是及时的调整压辊平衡。在加工中玻璃出现破碎的现象，这个时候就要注意了一定要及时修正后再使用，一般发生的原因是毛刷的轴承破坏了，还有压辊压不住玻璃，需要及时调整和更换。清洗后的玻璃还是不干净，那么就可能是喷水管坏了或者是堵了，毛刷的间距太大也会洗不干净。要及时清理和调整间距。
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